Вакуумная машина для нанесения покрытия — это устройство, которое наносит тонкие металлические пленки на поверхность подложки.Его основной принцип работы разделен на три этапа: очистка, испарение и осаждение.
1. Очистка
Перед испарительным осаждением необходимо очистить испарительную камеру.Поскольку на поверхности испарительной камеры могут быть оксиды, жир, пыль и другие вещества, это повлияет на качество пленки.Для очистки обычно используются химические или физические методы.
2. испарение
Желаемый материал нагревается выше точки плавления, так что он образует газообразные молекулы.Молекулы газа затем выходят из вакуумной камеры в испарительную камеру.Этот процесс называется испарением.Температура, давление и скорость испарения влияют на состав, структуру и свойства пленки.
3. Депонирование
Газообразные молекулы материала в испарительной камере поступают в реакционную камеру через вакуумную трубку, вступают в реакцию с активным материалом и затем осаждают продукт на поверхность подложки.Этот процесс называется седиментацией.Температура, давление и скорость осаждения также влияют на качество и характеристики пленки.
2. Приложение
Машины для нанесения вакуумных покрытий широко используются в материаловедении, оптике, электронике и других областях.
1. Материаловедение
Машины для вакуумного нанесения покрытия могут изготавливать тонкие пленки из различных металлов, сплавов, оксидов, силикатов и других материалов и широко используются в покрытиях, оптических пленках, оптических накопителях, дисплеях, транзисторах и других областях.
2. Оптика
Машина для вакуумного нанесения покрытия может изготавливать пленки из металлов и сплавов с высокой отражательной способностью, а также оптические пленки со специальными функциями.Эти пленки можно использовать в солнечных панелях, высокопроизводительных электронных микроскопах, аэрогелях, УФ/ИК-датчиках, оптических фильтрах и других областях.
3. Электроника
Машины для вакуумного нанесения покрытия могут готовить наноразмерные электронные материалы и микроэлектронные устройства.Эти пленки можно использовать в нанотранзисторах, магнитной памяти, сенсорах и других областях.
Короче говоря, машина для вакуумного нанесения покрытия может не только готовить различные тонкопленочные материалы, но и при необходимости изготавливать тонкие пленки со специальными функциями.В будущем технология вакуумного покрытия будет более широко использоваться и продвигаться.
Время публикации: 12 марта 2024 г.